Předmět zahrnuje dvě oblasti: (i) seznamuje studenty s technologiemi vytváření tenkých nanostrukturovaných vrstev vakuovými technologiemi i "mokrou cestou"
a následným vertikálním i horizontálním patterningem těchto vrstev, (ii) demonstruje využití takových vrstev v senzorice v závislosti na jejich elektrofyzikálních
a optických parametrech
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
The course covers two areas: (i) introduces students to the technologies of thin nanostructured layers preparation by vacuum or "wet" technologies and then to the vertical and horizontal patterning of these layers, (ii) demonstrates the use of such layers in sensors depending on their electrophysical and optical parameters.
Výstupy studia předmětu -
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
Studenti budou umět:
orientovat se v technologiích vytváření i strukturování mikro- a nanovrstev
aplikovat připravené vrstvy v senzorice (v závislosti na jejich elektrofyzikálních a optických vlastnostech)
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
Students will be able to:
orientate themselves in technologies for development and structuring of micro-and nano-layers
apply prepared layers in sensors (depending on their electrophysical and optical properties)
Literatura -
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
Z: W.A. Goddard, D.W.Brenner, S.E. Lyshevski, G.J. Iafrate (eds.): Handbook of Nanoscience, Engineering and Technology, CRC Press 2007, ISBN 0-8493-7563-0
D: I. Hüttel: Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku, skripta VŠCHT Praha, 2000
D: M. LIBRA: Vakuum - technologie moderní doby. ELEKTRO, 2003
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
R: W.A. Goddard, D.W.Brenner, S.E. Lyshevski, G.J. Iafrate (eds.): Handbook of Nanoscience, Engineering and Technology, CRC Press 2007, ISBN 0-8493-7563-0
A: I. Hüttel: Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku, skripta VŠCHT Praha, 2000
A: M. LIBRA: Vakuum - technologie moderní doby. ELEKTRO, 2003
Studijní opory -
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
Přednášky v elektronické podobě zveřejněné na www stránkách Ústavu fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
Lectures in electronic format published on the website of the Department of Physics and Measurements ICT Prague
Sylabus -
Poslední úprava: Fialová Jana (15.01.2018)
1. Mikro- a nanovrstvy: perspektivy, vlastnosti (vliv složení, struktury, tloušťky, technologie)
2. Úvod do vakuových technologií, pojem vakuum, střední volná dráha, vakuové napařování
3. Katodové naprašování (diodové, nízkotlaké, vysokofrekvenční), měření tloušťky
4. Magnetronové, reaktivní a iontové naprašování, nanovrstvy, iontová implantace
5. Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-)