SubjectsSubjects(version: 861)
Course, academic year 2019/2020
  
Technology and Properties of Sensing Layers - M444013
Title: Technologie a vlastnosti senzorových vrstev
Guaranteed by: Department of Physics and Measurement (444)
Actual: from 2019
Semester: winter
Points: winter s.:6
E-Credits: winter s.:6
Examination process: winter s.:
Hours per week, examination: winter s.:3/1 C+Ex [hours/week]
Capacity: unlimited / unlimited (unknown)
Min. number of students: unlimited
Language: Czech
Teaching methods: full-time
Level:  
For type: Master's (post-Bachelor)
Note: course can be enrolled in outside the study plan
enabled for web enrollment
Guarantor: Vrňata Martin prof. Ing. Dr.
This subject contains the following additional online materials
Annotation - Czech
Last update: Vrňata Martin prof. Ing. Dr. (26.04.2018)
Předmět zahrnuje dvě oblasti: (i) seznamuje studenty s technologiemi vytváření tenkých nanostrukturovaných vrstev vakuovými technologiemi i "mokrou cestou" a následným vertikálním i horizontálním patterningem těchto vrstev, (ii) demonstruje využití takových vrstev v senzorice v závislosti na jejich elektrofyzikálních a optických parametrech
Aim of the course - Czech
Last update: Vrňata Martin prof. Ing. Dr. (26.04.2018)

Studenti budou umět:

orientovat se v technologiích vytváření i strukturování mikro- a nanovrstev

aplikovat připravené vrstvy v senzorice (v závislosti na jejich elektrofyzikálních a optických vlastnostech)

Literature - Czech
Last update: Vrňata Martin prof. Ing. Dr. (26.04.2018)

Z: W.A. Goddard, D.W.Brenner, S.E. Lyshevski, G.J. Iafrate (eds.): Handbook of Nanoscience, Engineering and Technology, CRC Press 2007, ISBN 0-8493-7563-0

D: I. Hüttel: Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku, skripta VŠCHT Praha, 2000

D: M. LIBRA: Vakuum - technologie moderní doby. ELEKTRO, 2003

Learning resources - Czech
Last update: Vrňata Martin prof. Ing. Dr. (26.04.2018)

Přednášky v elektronické podobě zveřejněné na www stránkách Ústavu fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha.

Syllabus - Czech
Last update: Vrňata Martin prof. Ing. Dr. (20.06.2018)

1. Mikro- a nanovrstvy: perspektivy, vlastnosti (vliv složení, struktury, tloušťky, technologie)

2. Úvod do vakuových technologií, pojem vakuum, střední volná dráha, vakuové napařování

3. Katodové naprašování (diodové, nízkotlaké, vysokofrekvenční), měření tloušťky

4. Magnetronové, reaktivní a iontové naprašování, nanovrstvy, iontová implantace

5. Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-)

6. Laserové depoziční metody, interakce záření, PLD, MAPLD, MAPLD-DW, MAPLD-RIR

7. Litografie, litografická maska, pozitivní a negativní rezist, metoda přímého psaní

8. Optické vlastnosti, antireflexní povlak, interference, holografie, elipsometrie, vlnovody

9. Vodivostní senzor plynů, princip a aplikace, porovnání s klasickými analyzátory

10. Polovodičové materiály pro senzory, vliv dopantů a vakancí, Schottkyho přechod

11. Tenkovrstvý vodivostní senzor, náhradní schéma, Debyova délka, interakce s plyny

12. Příprava tenkých vrstev technologií ink-iet, mechanismy nanášení, ink-jet: tiskárny

13. Mikrosenzory připravené technologií ink-jet, multistruktury, tištěné elektronické nosy

14. Tenkovrstvé senzory na bázi QCM, popis rezonance, Sauerbreyova rovnice

Teaching methods
Activity Credits Hours
Konzultace s vyučujícími 1 28
Účast v laboratořích (na exkurzi nebo praxi) 0,5 14
Účast na přednáškách 1,5 42
Příprava na přednášky, semináře, laboratoře, exkurzi nebo praxi 0,5 14
Příprava na zkoušku a její absolvování 2,5 70
6 / 6 168 / 168
Coursework assessment
Form Significance
Regular attendance 20
Examination test 40
Oral examination 40

 
VŠCHT Praha