The subject deals physics of thin films and nanostructures, it discusses deposition techniques (physical and chemical) and advanced methods for characterization of morphology, physical, physical-chemical and chemical properties of the surfaces. Students will become familiar with theoretical principles and descriptions as well as modern experimental approaches.
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Předmět se zabývá fyzikou tenkých vrstev a nanostruktur, jsou probírány techniky jejich přípravy (fyzikální i chemické) a pokročilé metody pro studium morfologie, fyzikálních, fyzikálně-chemických i chemických vlastností povrchů. V rámci studia se studenti seznámí s teoretickými základy a popisy, stejně jako s moderními experimentálními přístupy.
Aim of the course -
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Students will be familiar with technologies and methods used for preparation of thin films. They will have overview of diagnostic methods to analyze morphology, physical, physical-chemical and chemical properties. They will be able to choose optimal techniques and methods to fabricate and characterize thin films regarding the material nature.
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Studenti se budou orientovat v technologiích a mechanismech přípravy tenkých vrstev. Budou mít přehled o diagnostických metodách pro analýzu morfologie, fyzikálních, fyzikálně-chemických i chemických vlastností. Budou schopni zvolit optimální techniky a technologie přípravy vrstev a jejich analýzy v závislosti na charakteru materiálu.
Literature -
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (28.11.2018)
Z:
1. Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002
2. Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998.
D:
1. Heide P.: X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY, An Introduction to Principles and Practices, Wiley, 2012
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Z:
1. Eckertová L. : Metody analýzy povrchů – elektronová spektroskopie, Academia, Praha, 1990
2. Frank L., Král J.: Metody analýzy povrchů – iontové, sondové a speciální metody, Academia, Praha, 2002
3. Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002
4. Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998.
D:
1. Eckertová L. : Fyzika tenkých vrstev, SNTL Praha, 1973
2. Heide P.: X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY, An Introduction to Principles and Practices, Wiley, 2012
Learning resources -
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
The lectures posted on the web pages of the Institute of physics and measurements
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Přednášky v elektronické podobě zveřejněné na www stránkách Ústavu fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha
Requirements to the exam -
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
none
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
nejsou
Syllabus -
Last update: Pátková Vlasta (19.11.2018)
1. Basic characteristics of thin films and nanostructures, classification, properties
2. Thin film growth mechanisms, nucleation, coalescence, substrate
3. Polycrystalline, monocrystalline and amorphous thin films, epitaxy