Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (28.06.2018)
The subject deals physics of thin films and nanostructures, it discusses deposition techniques (physical and chemical) and advanced methods for characterization of morphology, physical, physical-chemical and chemical properties of the surfaces. Students will become familiar with theoretical principles and descriptions as well as modern experimental approaches.
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (27.06.2018)
Předmět se zabývá fyzikou tenkých vrstev a nanostruktur, jsou probírány techniky jejich přípravy (fyzikální i chemické) a pokročilé metody pro studium morfologie, fyzikálních, fyzikálně-chemických i chemických vlastností povrchů. V rámci studia se studenti seznámí s teoretickými základy a popisy, stejně jako s moderními experimentálními přístupy.
Aim of the course -
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (27.08.2018)
Students will be familiar with technologies and methods used for preparation of thin films. They will have overview of diagnostic methods to analyze morphology, physical, physical-chemical and chemical properties. They will be able to choose optimal techniques and methods to fabricate and characterize thin films regarding the material nature.
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (27.08.2018)
Studenti se budou orientovat v technologiích a mechanismech přípravy tenkých vrstev. Budou mít přehled o diagnostických metodách pro analýzu morfologie, fyzikálních, fyzikálně-chemických i chemických vlastností. Budou schopni zvolit optimální techniky a technologie přípravy vrstev a jejich analýzy v závislosti na charakteru materiálu.
Literature -
Last update: Vlček Jan Ing. Ph.D. (30.08.2019)
Z:
1. Hans Lüth: Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films, Springer International Publishing, 2014
2. Donald L. Smith: Thin-Film Deposition: Principles and Practice, McGraw Hill Professional, 1995
3. Frank L., Král J.: Metody analýzy povrchů – iontové, sondové a speciální metody, Academia, Praha, 2002
4. Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002
5. Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998.
D:
1. Heide P.: X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY, An Introduction to Principles and Practices, Wiley, 2012
Last update: Vlček Jan Ing. Ph.D. (30.08.2019)
Z:
1. Hans Lüth: Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films, Springer International Publishing, 2014
2. Donald L. Smith: Thin-Film Deposition: Principles and Practice, McGraw Hill Professional, 1995
3. Frank L., Král J.: Metody analýzy povrchů – iontové, sondové a speciální metody, Academia, Praha, 2002
4. Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002
5. Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998.
D:
1. Heide P.: X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY, An Introduction to Principles and Practices, Wiley, 2012
Learning resources -
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (27.08.2018)
The lectures posted on the web pages of the Institute of physics and measurements
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (27.06.2018)
Přednášky v elektronické podobě zveřejněné na www stránkách Ústavu fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha
Requirements to the exam -
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (27.08.2018)
none
Last update: Vrňata Martin prof. Dr. Ing. (03.07.2018)
nejsou
Syllabus -
Last update: Novotný Michal Ing. Bc. Ph.D. (27.08.2018)
1. Basic characteristics of thin films and nanostructures, classification, properties
2. Thin film growth mechanisms, nucleation, coalescence, substrate
3. Polycrystalline, monocrystalline and amorphous thin films, epitaxy