|
|
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
|
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Studenti se budou orientovat v technologiích a mechanismech přípravy tenkých vrstev. Budou mít přehled o diagnostických metodách pro analýzu morfologie, fyzikálních, fyzikálně-chemických i chemických vlastností. Budou schopni zvolit optimální techniky a technologie přípravy vrstev a jejich analýzy v závislosti na charakteru materiálu. |
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Z: 1. Eckertová L. : Metody analýzy povrchů – elektronová spektroskopie, Academia, Praha, 1990 2. Frank L., Král J.: Metody analýzy povrchů – iontové, sondové a speciální metody, Academia, Praha, 2002 3. Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002 4. Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998.
D: 1. Eckertová L. : Fyzika tenkých vrstev, SNTL Praha, 1973 2. Heide P.: X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY, An Introduction to Principles and Practices, Wiley, 2012 |
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Přednášky v elektronické podobě zveřejněné na www stránkách Ústavu fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha |
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
nejsou |
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
1. Základní charakteristika vrstev a nanostruktur, rozdělení, vlastnosti 2. Mechanismy růstu tenkých vrstev, nukleace, koalescence, substrát 3. Polykrystalické, monokrystalické vrstvy, amorfní vrstvy, epitaxe 4. Vakuové techniky v oblasti HV, UHV a XHV 5. Fyzikální metody přípravy vrstev (PVD), napařování, naprašování, PLD, ALD 6. Chemické metody přípravy vrstev (CVD) a nevakuové metody přípravy tenkých vrstev 7. Diagnostika morfologie - mikroskopie skenující sondou (AFM, KPFM, STM) 8. Diagnostika struktury a morfologie - TEM, SEM, SAED, LEED, RHEED 9. Rentgenová a neutronová difrakce, rozptyl (PXRD, GIXRD, GAXRD, SAXS, GISAXS, SANS, GISANS) 10. Iontové spektroskopie (SIMS, HEIS, RBS, EBS) 11. Analýza struktury a složení vrstev - Raman, IČ spektroskopie, EDX, NMR, EPR 12. Fotoelektronová spektroskopie, mikroskopie (XPS, PEEM) 13. Elektrotransportní vlastnosti – čtyřbodové metody, Hall 14. Optické vlastnosti - elipsometrie, spektrofotometrie, spektroskopie - UV-VIS |
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
nejsou |
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
nejsou |
|
||
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
ústní zkouška |