PředmětyPředměty(verze: 855)
Předmět, akademický rok 2019/2020
  
Physics of thin films and surfaces - AP444008
Anglický název: Physics of thin films and surfaces
Zajišťuje: Ústav fyziky a měřicí techniky (444)
Platnost: od 2019
Semestr: oba
Body: 0
E-Kredity: 0
Způsob provedení zkoušky:
Rozsah, examinace: 2/1 Jiné [hodiny/týden]
Počet míst: zimní:neomezen / neomezen (neurčen)
letní:neurčen / neurčen (neurčen)
Minimální obsazenost: neomezen
Jazyk výuky: angličtina
Způsob výuky: prezenční
Úroveň:  
Pro druh: doktorské
Poznámka: předmět lze zapsat v ZS i LS
Garant: Vlček Jan Ing. Ph.D.
Novotný Michal Ing. Ph.D.
Záměnnost : P444008
Anotace -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)
Předmět se zabývá fyzikou tenkých vrstev a nanostruktur, jsou probírány techniky jejich přípravy (fyzikální i chemické) a pokročilé metody pro studium morfologie, fyzikálních, fyzikálně-chemických i chemických vlastností povrchů. V rámci studia se studenti seznámí s teoretickými základy a popisy, stejně jako s moderními experimentálními přístupy.
Výstupy studia předmětu -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

Studenti se budou orientovat v technologiích a mechanismech přípravy tenkých vrstev. Budou mít přehled o diagnostických metodách pro analýzu morfologie, fyzikálních, fyzikálně-chemických i chemických vlastností. Budou schopni zvolit optimální techniky a technologie přípravy vrstev a jejich analýzy v závislosti na charakteru materiálu.

Literatura -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

Z:

1. Eckertová L. : Metody analýzy povrchů – elektronová spektroskopie, Academia, Praha, 1990

2. Frank L., Král J.: Metody analýzy povrchů – iontové, sondové a speciální metody, Academia, Praha, 2002

3. Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002

4. Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998.

D:

1. Eckertová L. : Fyzika tenkých vrstev, SNTL Praha, 1973

2. Heide P.: X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY, An Introduction to Principles and Practices, Wiley, 2012

Studijní opory -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

Přednášky v elektronické podobě zveřejněné na www stránkách Ústavu fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha

Požadavky ke kontrole studia -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

nejsou

Sylabus -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

1. Základní charakteristika vrstev a nanostruktur, rozdělení, vlastnosti

2. Mechanismy růstu tenkých vrstev, nukleace, koalescence, substrát

3. Polykrystalické, monokrystalické vrstvy, amorfní vrstvy, epitaxe

4. Vakuové techniky v oblasti HV, UHV a XHV

5. Fyzikální metody přípravy vrstev (PVD), napařování, naprašování, PLD, ALD

6. Chemické metody přípravy vrstev (CVD) a nevakuové metody přípravy tenkých vrstev

7. Diagnostika morfologie - mikroskopie skenující sondou (AFM, KPFM, STM)

8. Diagnostika struktury a morfologie - TEM, SEM, SAED, LEED, RHEED

9. Rentgenová a neutronová difrakce, rozptyl (PXRD, GIXRD, GAXRD, SAXS, GISAXS, SANS, GISANS)

10. Iontové spektroskopie (SIMS, HEIS, RBS, EBS)

11. Analýza struktury a složení vrstev - Raman, IČ spektroskopie, EDX, NMR, EPR

12. Fotoelektronová spektroskopie, mikroskopie (XPS, PEEM)

13. Elektrotransportní vlastnosti – čtyřbodové metody, Hall

14. Optické vlastnosti - elipsometrie, spektrofotometrie, spektroskopie - UV-VIS

Vstupní požadavky -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

nejsou

Studijní prerekvizity -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

nejsou

Podmínky zakončení předmětu -
Poslední úprava: Pátková Vlasta (19.11.2018)

ústní zkouška

 
VŠCHT Praha